Seit 2013 bietet die IMS Mikro-Nano Produkte GmbH Spezialprodukte auf der Basis von Silizium und Quarz an. Diese Materialien können mit Mikro- und Nanostrukturen zu den unterschiedlichsten Zwecken versehen werden.
Hier stehen auf 1200 qm Reinraumfläche eine vollständige CMOS-Prozesslinie mit zugehöriger Design- und Testumgebung sowie Prozesslinien für Nanostrukturierung und MEMS auf Wafer- und Maskensubstraten zur Verfügung. Die Fertigung erfolgt im Rahmen eines zertifizierten Qualitätssicherungsystems.
Technologien
Wir führen für Sie die Entwicklung und die Serienfertigung von Spezialprodukten auf Basis von Silizium- und Quarz durch.
Neben den klassischen Mikrochips (ASICs) können wir für Sie eine Reihe anderer Produkte entwickeln und herstellen:
Stencil Masken aus Siliziummembranen
Replikationsmaster für Abformverfahren
Optische Komponenten: Masken, computergenerierte Hologramme (CGH), diffraktive optische Elemente (DOE)
Strukturiertes Silizium für mechanische Anwendungen, MEMS
Ultradünne Mikrochips nach dem ChipFilm™-Verfahren
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